集成的SEM技术

步骤1：设置及对中样品

准备样品，使其平整、或抛过光，并根据需要安装在支架或样品台上。非导电样品可能需要进行喷镀处理，以消除可能导致图像失真或漂移的放电效应。实现这一点的最佳方法是使用全自动氩离子抛光系统，例如 PECS™ II 仪器。

PECS II 仪器可以产生无损表面、横截面，并沉积镀层以保护或消除放电。

一旦放入SEM腔室，使用集成的成像工具找到并聚焦你感兴趣的区域。

步骤2：配置参数并采集集成数据

设置EDS、EBSD、BSE、CL和/或WDS的扫描参数，包括分辨率、驻留时间和激发条件。

然后，使用 EDAX^® APEX™（或 DigitalMicrograph^®）软件同时获取所有模式下的化学、光学和/或晶体学数据。

步骤3：将原始数据转化为有意义的洞察力

处理原始谱和衍射花样来生成元素分布图、取向图和相图。

应用先进算法进行峰剥离和花样标定，然后将化学和结构数据关联起来，挖掘单一技术无法发现的细节。

步骤4：生成并分享带有可视化和量化结果的报告

使用 EDAX APEX、OIM Analysis™ 或其他报告工具生成可自定义的报告，包含图、谱和定量结果。

把数据导出为 PDF 或 Office 等标准格式，方便记录、协作和进一步分析。