简化SEM显微分析

使用设备

DigitalMicrograph^® 整合了Monarc^® 探测器以及EDAX^® Octane Elite EDS 系统, 实现阴极荧光 (CL) 和x-射线信号的同时采集。

背景

扫描电子显微镜 (SEM) 中的能量弥散x-射线谱 (EDS) 和CL是分析科学的重要显微分析技术。通过EDS，x-射线荧光谱揭示了样品的成分构成，这是基于某一元素的原子结构所产生的特征x-射线，而CL则使用了光学光谱揭示样品的光学和电子特性，这些特性源自样品的晶体结构以及微量元素或缺陷的存在。通常，为了对诸如许多矿物、宝石和文物实现完整的分析需要运用到EDS和CL这两种技术对其进行表征，这其中，CL信号能够揭示某些含量远低于EDS灵敏度的微量和痕量元素的分布。