扫描电子显微镜（SEM）中的定量背散射电子分析

使用的 Gatan 设备

Cipher^® 系统，包括 OnPoint™ 背散射电子探测器和 DigitalMicrograph^® 软件

背景

在扫描电子显微镜（SEM）中，背散射电子（BSE）成像通常被用来揭示样品中的成分差异。BSE 图像的衬度来源于不同分析点之间的平均原子序数差异。通常，BSE 图像用于定性分析，但在合适的分析条件下也可以进行定量 BSE（qBSE）分析以确定平均原子序数Z̅的具体数值。最近，研究人员展示了通过 qBSE 和定量 X-射线能量色散谱（EDS）分析的组合，在样品中测得个位数质量百分比的锂元素 [1, 2]，因此对于 qBSE 分析的兴趣正在增长。在本文中，我们测试了使用 OnPoint BSE 探测器和 DigitalMicrograph 软件（Cipher 系统的组成部分）对于 qBSE 应用的性能表现。