PECS™ II 精密离子刻蚀与镀膜系统和EDAX® Hikari Super EBSD系统以及APEX™软件
金属或陶瓷涂层常被用于保护或增强所覆盖的基质材料。通过EBSD对这类材料的横截面进行微观织构分析时要求基底和涂层的结合处为平面,并且两种相的真实结构是连续无畸变的,直到表面。对于含多孔基底材料样品的制备是特别具有挑战性的,因为增加的研磨过程中晶粒被拔出的风险,以及残留在孔内的粗研磨颗粒会在后续研磨步骤中产生划痕。