使用 Elite T Super 在 DigitalMicrograph 中进行实时 EDS 面分布分析

使用的 Gatan 设备

eaSI™ 是 Gatan 独有的技术，为高阶 STEM 实验带来高效和有效的工作流程。eaSI 利用 EDAX^® Elite T Super 探测器 (Gatan 助力的 EDAX EDS)最大限度的提高收集效率, 以及 DigitalMicrograph^® 软件基于工作流程的界面来缩短得到结果的时间。

背景

具有复杂化学成分和物理架构的样品，例如 3D NAND 存储器，需要详细的表征以确认其结构或识别失效方式。EDS 元素面分布对于分析经由漫长制造工艺制备的半导体样品特别有用。eaSI 通过使用户在 DigitalMicrograph 中进行 EDS 数据收集期间实时显示元素面分布结果，提升了 EDS 数据的采集工作流程。因此，用户可以实时确认所选的采集条件是否合适，检查 EDS 数据中的信噪比是否合适， 并选择在元素面分布中存在足够的信号时结束数据采集。