同步 EDS 和 EELS 采集实现完整多元素成分分析

使用的 Gatan 设备

eaSI™ 是 Gatan 特有的技术，为先进 STEM 实验带来高效和有效的工作流程。eaSI 充分利用了 Gatan 助力的 EDAX EDS（EDAX^® Elite T Super 探测器带来更高采集效率并优化轻元素表现性能，并完全一体化到 DigitalMicrograph^® 软件中）以及 GIF Continuum^® 系统 (为高质量 EELS 带来优异的灵敏度和采集效率)

背景

3D NAND 存储器件的复杂架构需要详细的表征来确认其结构和甄别失效途径。元素面分布、定量和化学态的确认都是构成一个完整分析的必须内容。通过 eaSI 技术，能量色散x射线谱（EDS）和电子能量损失谱 (EELS) 能够在 STEM 成像中实现相互结合和相互同步，带来互补的信息。采集具有高能量分辨率的 EELS，通过精细结构分析带来了确定元素化学态的独特能力。但是，分析所需的能量分辨率可能会限制能量范围以及能够采集到的元素吸收边种类。在这些情况下，同步采集的 EDS 补充了分析的完成性，带来了当前 EELS 能量范围之外的元素谱学信息。