使用 GIF Continuum K3 在 Tb3Sc2Al3O12 中实现 ~1 Å 分辨率的 STEM EELS mapping
仪器设备
背景
电子能量损失谱 (EELS) 谱成像 (spectrum imaging, SI) 与像差校正的 STEM 相结合，可以在埃米尺度上同时表征结构和化学变化。然而，较长的采集时间、样品漂移和电子束引起的样品损伤使得原子分辨的 EELS SI 相对于环形暗场 (ADF) STEM 成像更具挑战性。
直接探测单电子计数相机灵敏度更高，提升了 EELS 谱中电离边的检测极限。这使得 SI 数据可以在显著降低的总剂量下完成收集，从而减少了高空间分辨率数据采集所需的时间。结合 DigitalMicrograph® 多帧 (Multi-pass SI) 采集方式和 K3 相机的高采谱速率，总剂量被分散到多个扫描帧中，允许用户以足够高的频率进行漂移校正，从而避免图像畸变。此外，K3 相机的单电子灵敏度可防止读出噪音影响亚毫秒驻留时间下 EELS 谱的信噪比 (SNR)。