电子束敏感材料的低剂量 EBSD 分析

电子束敏感材料上的 EBSD 花样采集受到束流和加速电压的限制，因为大剂量会损坏晶体结构。 在本次网络研讨会中，我们将使用 EDAX Clarity™ 探测器来研究产生可标定衍射花样所需的最少电子数量，该电子数量与背散射系数、衍射电子比例和加速电压有关。 在许多情况下，使用 pA 级的电子束流，每个像素点少于 20 个电子信号，已经可以获得可标定的花样。 当获得的衍射信号强度仍然不足以获得良好的标定结果时，可以使用 NPAR™通过平均相邻的 EBSD 花样来增强极弱花样的信噪比，而无需增加束流。 本研讨会将通过生物矿石和钙钛矿光伏材料的低剂量面分布图来进行演示。