如何结合Micro-XRF和SEM-EDS以优化材料的X-射线表征

X-射线荧光（微束X-射线荧光）是利用传统XRF优势的无损分析技术，同时实现具有移动样品台的微束X-射线测量技术。它不需要样品制备和镀膜，并且样品的形状和高度可以是不规则的。与扫描电子显微镜（SEM）上的能量色散谱仪（EDS）相比，该技术提高了对更高原子序数Z的元素的检测极限和更大的分析深度。SEM-EDS具有较高的轻元素灵敏度并更适用于更小尺度的特征和更精确的定位。这两种技术都可以进行谱采集、线扫描和面分布图。本次网络研讨会将关注SEM-EDS和台式Micro-XRF分析的相对优势，并对如何将这两种技术结合在一起以优化材料的X-射线表征提出建议。