花样尺寸和灵敏度对EBSD花样中噪声优化的影响

所用仪器

EDAX^® OIM Analysis™ 软件和EDAX OIM Matrix™

相关背景

自电子背散射衍射（EBSD）问世以来，通过EBSD进行取向测量的精度和准确度一直备受关注[1,2]。自从实现EBSD技术自动化标定之后，EDAX科学家一直持续探索取向精度[3,4]。优化EBSD取向测量可以显著改善其结果。EDAX使用了一种优化方法，其本质上是Singh，Ram，De Graef [5]以及Pang，Larsen和Schuh [6]提出的方法的综合。OIM Analysis 9使用了球形标定和一种对谐波频率空间的额外的优化方法，以进一步改善标定结果。