样品表面和厚度对 EDS 面分布图的影响

使用Gatan 设备

配置 EDAX^® APEX™ 软件的 EDAX Octane Elect Plus EDS 分析系统和 PECS™ II 宽束离子抛光仪

背景情况

利用能量色散谱（EDS）面分布图可以快速有效地测定样品中的成分变化。其可以生成感兴趣区 (ROI) 强度、背底校正和完全定量的面分布图。在具有平坦表面的块状样本上，谱处理可以校正由于成分变化而导致的 EDS 信号变化，从而生成可以直接解释 (析) 的图像。然而，当样品表面粗糙，或假如样品是电子可穿透的并且不是 (均匀厚度) 等厚的，X-射线产生和检测的差异可能会掩盖真正的成分微观结构。在使用APEX 软件进行 EDS 面分布图时，会自动收集每秒计数 (CPS) 面分布图，以帮助纠正这些假象。