在 EBSD 测试期间进行精确元素成分分析

仪器设备

EDAX^® Pegasus EDS – EBSD 系统和EDAX APEX™ Advanced 软件

实验背景

对于很多工程材料而言，了解功能特性和材料的组分以及微结构之间的关系至关重要。因此，扫描电子显微镜 (SEM) 中的能量色散 X 射线谱 (EDS) 和电子背散射衍射 (EBSD) 构成了材料科学家工具箱中必不可少的表征方法。人们早就认识到，同时收集和分析来自多相材料的 EDS 和 EBSD 信号是很有意义的，可以消除结果解释中的歧义和错误，并将数据采集和分析的时间减少一个量级。然而，大家通常认为用于 EBSD 分析的实验条件（样品倾斜至 70° 和高电子束流）阻止了 EDS 定量成分分析。通常来说，EDS 定量分析需要低 X 射线计数率和 0° 倾斜的平坦样品，以便所有到达探测器的 X 射线都得到准确的记录，并且样品内的 X 射线再吸收的影响也可能予以考虑。这种定量成分信息的缺乏阻碍了对从所分析材料中收集数据的全面理解。