在APEX 2.2中EDS的新功能

引言

APEX™ 是EDAX^® 采集和分析能量色散谱（EDS）和电子背散射衍射（EBSD）数据的首要软件。在这里，我们将讨论在APEX 2.2中的全标样定量（FSQ）和可用的其它新功能。

谱与图像

使用最新添加的浮动注释工具栏，您可以很容易地添加文本和图形到图像和谱图上。一个可选的尺子可以测量任何特征物并保存测量结果与图像。您可以将所有的注释保存到HDF5文件和相关的报告中，并在创建完成后进行编辑或删除。此外，谱还可以保存为带有注释的图像。

Figure 1. a) Floating toolbar and annotations in the spectrum. b) Annotations in the SEM image.

谱的归一化

在默认情况下，多个谱的归一化之前是以最高的能量峰来做的。最新的谱归一化功能可以通过选择区域、元素或在谱重叠中绘制来灵活地基于任何峰来做谱图归一化。比率信息显示在重叠区上，然后在报告中显示归一化的能量范围。

定量蒙太奇拼图面分布

在APEX 2.0中，蒙太奇面分布图可以实现精确的大面积成像及EDS和EBSD的面分布图。其利用样品台移动来采集单个的高分辨率图像，并通过在一个大样品表面上的网格模式获取分布图，然后将它们拼接成蒙太奇面分布图。在APEX 2.2中，还可以通过将蒙太奇面分布图重构为NET和ZAF（wt%.和at.%）面分布图，使该功能有了更进一步的作用。为了便于使用，其工作流程与重构单视域EDS面分布图一致。

全标样定量

全标样定量（FSQ）是这一版本中最重要的EDS功能。它从单一元素标样谱中计算出一个独特的参考值，以确定束流和探测器立体角的乘积。在给定的参数下，对随后采集的每一个谱线使用此参考值。它将束流和探测器几何参数上的任何差异归一化。只要在相同的加速电压下采集标准谱线和未知谱线，就可以应用标样对未知样品进行定量。FSQ有三种模式。标样模式适合于想做完全可控选定标样的用户。多标样模式使用加载标样的平均值。最后，SmartStandards模式是一种智能方法，它使用迭代内部评估算法自动选择最适合的标样。FSQ图表（图4）给出了一个可视化的呈现，表示标样与未知样品的接近程度。图中还生成了一条曲线来显示计算的元素浓度相对于基于加载标样的净计数。

Figure 4. FSQ chart of Si K. The yellow diamonds show standards, and the “X” indicates the unknown sample. The calculated curve gives the element concentration versus net counts based on the loaded standards.

结语

新版APEX 2.2的特性使的平台更好、更强大。一如既往，从先前的APEX版本升级到APEX 2.2是免费的。我们建议您利用这些强大的功能来提升您的材料分析。