利用 STEMx 系统和您现有的 Gatan 原位相机进行纳米束应变分析

使用的 Gatan 设备

STEMx^®  系统利用 eaSI™ 技术将 STEM 探针与 Gatan 原位相机的高帧率同步，以高速获取高质量的 4D STEM 数据集。

背景

应变及其空间分布与材料的力学和电学性能密切相关。在高空间分辨率 (纳米级) 下进行应变分析，需要使用电子显微镜。基于扫描电子显微镜 (SEM) 的技术，如电子背散射衍射 (EBSD) 或透射-EBSD (transmission-EBSD, T-EBSD)，能够提供大视野 (数百微米或更大) 的应变分布信息，但其空间分辨率通常受限于 >10 nm。两种常见的用于高空间分辨 (~1 nm) 应变分析的扫描透射电子显微镜 (STEM) 方法是几何相位分析 (GPA) 方法和 4D STEM 方法：GPA 方法利用高分辨率 STEM 图像中的原子柱位置，而 4D STEM 方法利用纳米束衍射花样。4D STEM 是在电子探针扫描样品时，在每个像素位置收集衍射图像。STEMx 系统利用 eaSI 技术将扫描探针与 Gatan 相机同步，并提供 4D STEM 数据采集和处理的工作流程 (例如应变面分布、取向面分布、虚拟成像、DPC 成像)。