使用K3 IS相机进行电子叠层成像研究：解析SrTiO3中的氧元素

使用的Gatan仪器

K3^® IS相机可以实现直接探测电子计数、连续快速数据采集和低剂量成像。STEMx^® 系统通过eaSI™技术将STEM电子束与K3 IS的高帧率同步, 高速获取高质量的4D STEM数据。

背景

4D STEM研究中最有前途之一的应用是电子叠层成像。电子叠层成像是一种高效利用电子剂量的方法，可以实现高空间分辨率成像 (达到超越传统的多级光阑限制的分辨率) 并且与传统的环形暗场成像相比，叠层成像可以通过高信噪比和高对比度线性度同时表征轻原子和重原子。最近发表的电子叠层成像研究中往往使用混合像素探测器进行数据收集，这主要是因为这类探测器具有大像素尺寸、高动态范围和高帧率。在这期实验简报中，我们展示了K3 IS相机 (一种基于单片有源像素技术的探测器) 同样也可以用于高质量的电子叠层成像研究。