半导体器件元素的精确面分布——分离“重叠”峰

仪器设备

EDAX^® Octane Elite EDS 探测器和 APEX™ 软件

实验背景

能量色散X射线光谱（能谱，EDS）是电子行业在研发和质量控制场景中的关键工具，其中元素面分布可用于可视化集成电路中各个设备中介电层和电触点的分布。然而，许多用于构建电子设备及其电气互连的材料传统上被认为很难被EDS面分析表征。这是由于EDS探测器无法解析部分重要元素的特征X射线峰，例如Si K，Ta M和W M（能量分别为1.740，1.709和1.774 keV）。